【普乐斯】AOI设备-AOI光学自动检测设备-Wafer AOI系列
品牌:普乐斯
名称:AOI设备-AOI光学自动检测设备-Wafer AOI系列
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订购热线:400-816-9009
咨询热线:400-816-9009
产品特点
1、支持4/6/8英寸晶圆及切割环
2、2500万像素分辨率,AI深度神经网络加持
3、自动光学对焦、位置矫正、物镜切换
4、简易程式制作,减轻操作人员负担
3、自动光学对焦、位置矫正、物镜切换
4、简易程式制作,减轻操作人员负担
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产品参数
型号 | Wafer AOI系列 |
测试对象 | 支持4/6/8英寸晶圆及切割环 |
载台 | 微孔陶瓷X/Y/R |
相机像素 | 2500万像素高分辨率 |
可检测平面 | AI深度神经网络加持 |
显微镜光学系统 | 5轮物镜转换器,配备2X,5X,10X,20X显微物镜 |
光学模式 | 自动光学对焦,自动位置矫正,自动物镜切换 |
计算效率 | 多服务器分布式计算提速 |
控制方式 | 简易程式制作,减轻操作人员负担 |
图像系统 | 彩色图像Review系统 |
扩展升级 | 扩展兼容12英寸晶圆及切割环 |
注:以上参数仅供参考,本公司可能对相关产品参数进行调整,如有变动,恕不再另行通知。若有不明处,欢迎来电询问。
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工作原理
AOI检测技术应运而生的背景是电子元件集成度与精细化程度高,检测速度与效率更高,检测零缺陷的发展需求,其最大优点是节省人力,降低成本,提高生产效率, 统一检测标准和排除人为因素干扰,保证了检测结果的稳定性,可重复性和准确性,及时发现产品的不良,确保出货质量。
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应用领域
适用于晶圆后道工序外观检测
精准检测晶圆图形/蚀刻不良、崩边/缺边、划伤/切割破损、异物、破损、脏污等缺陷
快速反应,专业配合,精心打造服务生态链
1年质保,终身维护,提供配套服务
承诺到达现场的时限:昆山4小时,苏州8小时,江浙沪24小时,其他区域48小时
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荣誉资质
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