真空等离子表面处理系统常用的电极馈入方式介绍
文章导读：谈及真空等离子表面处理系统的电极放电形式，大家通常都会反映出CCP 容性耦合等离子体放电，CCP形式是目前真空等离子清洗机上应用较为普遍的一种电极放电形式，其中又以两类电极馈入方式为主。
谈及真空等离子表面处理系统的电极放电形式，大家通常都会反映出CCP 容性耦合等离子体放电，CCP形式是目前真空等离子清洗机上应用较为普遍的一种电极放电形式，其中又以两类电极馈入方式为主。今天普乐斯就简单介绍一下这两类电极馈入方式。
第1种相对更常见一些，主要是通过定做的铜棒与聚四氟乙烯材质的绝缘件相配合的方式馈入到真空等离子表面处理系统的真空腔体内，将铜棒与连接排连接在一起。此外，真空等离子清洗机设备的电极板上也要安装对应的连接件。
连接的方式可以是插针公母头连接、铜片与弹片配合连接、连接排与电极板利用铜带与螺丝锁定进行连接，以上三种连接方式中，又以插针公母头连接更为常见，下图为该方式的示意图，其他的两种连接方式也只是在腔体内部有所差别。
另外一种馈入方式比较适合用在水冷电极结构的连接上，即是在将连接棒焊接在电极板上，通过定做的绝缘套与焊接的连接棒相互配合，连接到腔体之外；在真空腔体之外再使用导电排将其连接在一起，之后再与等离子发生器的输出连接在一起。如果确认真空等离子处理设备需使用水冷电极结构，那么，所焊接的连接棒为中空结构，这样设计就能够中通水、连接棒外接射频。具体结构设计需根据实际的要求决定和优化。下图举例了简单的连接示意图，实际的连接结构会存在差异，下图仅方便大家理解。
以上就是关于真空等离子表面处理系统的CCP式电极馈入的两种方式介绍。您还见过那些电极的馈入方式或者有好的想法，欢迎大家留言与我们交流和分享。普乐斯电子9年专注研制各类常压大气及低压真空等离子清洗机，等离子表面处理设备，已通过ISO9001质量体系和欧盟CE认证，为电子、半导体、汽车、yi疗等领域的客户提供清洗，活化，刻蚀，涂覆的等离子表面处理解决方案，是行业内值得信赖的等离子清洗机厂家。如果您想要了解更多关于产品的详细内容或在设备使用中有疑问，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯恭候您的来电！
