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真空等离子清洗设备(CCP式)电极馈入的方式有哪些?

返回列表 来源:昆山普乐斯 浏览: 发布日期:2018-08-11 20:48【
文章导读:CCP 容性耦合等离子体 (capacitively coupled plasma)是目前国内常见的真空等离子清洗设备电极放电形式,有些爱学习的小伙伴想了解一下电极馈入方式,普乐斯的技术人员给大家简单介绍如下,仅供参考:
真空等离子清洗设备CCP容性耦合等离子体放电使用的电极馈入方式常见的有两类:

1、第1类是通过定制的铜棒+聚四氟乙烯绝缘件配合馈入到腔体内,在腔体内铜棒与连接排连接在一起。
真空等离子清洗设备电极板上也安装相应的连接件。连接方式可以是插针公母头连接、铜片+弹片配合连接以及连接排与电极板通过铜带利用螺丝锁定连接。下图为常用的插针公母头连接的示意,其他连接只是在腔体内部有区别。

真空等离子清洗设备电极设计图 真空等离子清洗设备电极实物图
真空等离子清洗设备电极设计图 真空等离子清洗设备电极实物图


2、另外一类是在真空等离子清洗设备电极板上焊接连接棒,通过定制的绝缘套与焊接的连接棒配合,连接至腔体外;在腔体外再用导电排连接在一起,然后与等离子发生器的输出连接在一起。这一类主要是用于水冷电极结构连接,如是水冷电极结构那么焊接的连接棒为中空结构,这样就可以中通水、连接棒外接射频。具体结构需根客户要求而定。下图为连接示意(仅为示意图,实际结构会有所区别)。

真空等离子清洗设备电极设计图 真空等离子清洗设备电极实物图
真空等离子清洗设备电极设计图 真空等离子清洗设备电极实物图

以上关于真空等离子清洗设备电极馈入的方式清楚了吗?您还见过那些电极的馈入方式或者有好的想法,欢迎大家留言与我们交流和分享。
 
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