普乐斯对射频真空等离子表面处理设备阳极鞘层知识点进行补充
文章导读：在2020年2月1日的文章中，普乐斯向大家介绍了射频真空等离子表面处理设备阳极鞘层的部份知识点，还有一些补充信息需要给大家分享：
在2020年2月1日的文章中，普乐斯向大家介绍了射频真空等离子表面处理设备阳极鞘层的部份知识点，还有一些补充信息需要给大家分享：
1 射频真空等离子表面处理设备空间电荷限制的阳极电流
在阴极鞘层中考虑限制电流量的空间电荷效应时，我们假设只存在一种载流子是允许的，因为那里的电子密度已经小到可以忽略不计；但是在阳极鞘中情况就不一样了，电子密度不一定能够被忽略。特别是存在阳极二次电子发射时更不能被忽略，因此无碰撞条件下的Child-Langmuir方程在此是不适用，需要建立适合二种载流子的模型。然而这一类模型的实验验证却是相当地困难，问题在于鞘电压和鞘厚均很小，测定起来误差太大。
2 射频真空等离子表面处理设备阳极鞘层的极性
一般情况下，阳极鞘层的极性较之负辉区等离子体来说处于低电位，在以上的一些讨论中通常也都是这样假设的。但实际上也并非总是如此，如果遇下面情况之一阳极的极性便会发生逆转。
2-1当阳极二次电子发射系数很大时。
2-2当阳极尺寸太小时，阳极鞘中电流形成机制自身调适就会发生极性逆转。当阳极面积小到一定程度时，阳极电位达到与负辉区等离子体等电位；这时电子电流密度增大到饱和值。至此，如果阳极面积再减小的话，鞘层极性便会发生逆转。随之离子电流减小而净电子电流进一步增大。
3 射频真空等离子表面处理设备阳极鞘层的主要作用
在通常情况下，即阳极电位低于负辉区的等离子体电位时，可以使阳极发射的二次电子加速进入负辉区，同时使从负辉区来的离子加速到达阳极或置于阳极的基片表面。由此可见，虽然阳极鞘层薄，其中不会产生显著电离，但被鞘电压加速的二次电子可作为负辉区的电子源和能量源；而负辉区又是阳极鞘层的离子源。
更多关于射频真空等离子表面处理设备阳极鞘层详细内容普乐斯陆续会在之后文章中再与大家进行交流。
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