等离子清洗机的等离子体物理反应主要有哪些？
文章导读：等离子清洗机利用等离子体与材料表面发生物理或化学反应来提高材料的表面性能，解决材料清洗难，粘接难与印刷难的问题。那么，等离子体物理反应主要有哪些？和普乐斯小伙伴一起来看看。
等离子清洗机利用等离子体与材料表面发生物理或化学反应来提高材料的表面性能，解决材料清洗难，粘接难与印刷难的问题。那么，等离子体物理反应主要有哪些？和普乐斯小伙伴一起来看看。
1、吸附与解吸
吸附和解吸附对于等离子过程是非常重要的，在很多情况下，它们中的一个或者另一个往往是表面过程的决定因素。吸附源于入射分子与表面间的吸引力。吸附分为两种：物理吸附是源于分子与表面的弱相互作用，它是放热的，物理吸附的分子与表面的结合能非常弱，吸附后它们可以迅速地从表面进行扩散；当吸附原子或分子与表面原子形成化学键以后，便构成了化学吸附，此过程为强放热过程。
在等离子体和固体材料表面接触的界面上，电子、离子、光子及中性粒子将能量传递给被吸附在固体材料表面的原子或分子，使这些原子或分子克服吸附力(范德瓦尔斯力或化学键力)而解吸离开固体表面,，因此有离子解吸、电子解吸、中性粒子解吸和光解吸，除外还有非等离子体的热解吸、声解吸(超声)。
2、溅射
溅射的物理机理是动量的转移过程，当高能离子或中性粒子（能量大于几个电子伏特eV）和固体材料表面作用时，它们穿过固体材料表面和固体材料内部的晶格原子产生碰撞级联，把能量传递给固体材料中的原子或分子，使固体材料内的原子或分子获得高于结合能的动能，从固体材料表面溅射出来,，使杂质进人到等离子体中，溅射的产额与入射粒子种类、能量及靶材料种类有关。
如果入射粒子是离子，则一般来说溅射产额随离子能量增高而直线上升，后逐渐缓慢达到极大值.。有些溅射出来的粒子在等离子体中经过多次碰撞, 又返回到固体材料表面，导致进一步的溅射,称自溅射过程，这一过程中杂质具有更大的质量，其产额有时比原来的溅射更高。
3、注入
具有一定能量的离子或中性粒子，轰击固体材料表面，打入固体材料内部与固体材料内的原子或分子结合，引起固体结构的变化，增加材料表面的分子量，也可使晶格损伤,，造成缺陷或非晶化等，如利用等离子体使离子注入金属表面，提高材料的硬度、耐磨、耐腐蚀等性能.。离子注入的特点是注人能量和剂量可控, 以期取得表面改性的最佳效果。
4、刻蚀
等离子体中粒子与表面原子或分子结合，生成挥发性的产物，从表面挥发掉，引起等离子体在固体表面的刻蚀，这个过程可以具有化学选择性，即只从表面去除一种材料而不影响其他的材料；也可以是各项异性的，去除沟槽底部的材料而不影响侧壁上同样的材料。
5、复合
在三体碰撞中，正负带电粒子碰撞复合，第三体便是固体壁(或固体表面)，固体壁加速了复合过程。
6、激发和电离
等离子体和固体表面相互作用时同样存在激发和电离过程，尤其是在固体表面，被束缚在原子或分子的量子化的能级上的电子，受到光子或入射电子的轰击后。会发射光电子，发射出的光电子的内能随对应的能级不同而形成光电子谱。
等离子清洗机利用等离子体对材料表面进行改性，主要是利用等离子体与材料表面发生的物理与化学反应来对材料表面进行改性，以加强表面性能。今天，我们主要给大家讲述的是等离子体与材料表面发生的物理性能，下一章节，我们将继续给大家讲述化学反应具有有哪些！
普乐斯电子12年专注研制等离子清洗机，等离子体清洗机，等离子清洗设备，常压大气和低压真空型低温等离子表面处理设备，大气低温等离子体表面处理系统，大气常压收放卷等离子表面设备处理，已通过ISO9001质量体系和欧盟CE认证，为电子、半导体、汽车、yi疗等领域的客户提供清洗、活化、刻蚀、涂覆的等离子表面处理解决方案，是行业内值得信赖的等离子清洗机厂家。如果您想要了解更多关于产品的详细内容或在设备使用中有疑问，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯随时恭候您的来电！
1、吸附与解吸
吸附和解吸附对于等离子过程是非常重要的，在很多情况下，它们中的一个或者另一个往往是表面过程的决定因素。吸附源于入射分子与表面间的吸引力。吸附分为两种：物理吸附是源于分子与表面的弱相互作用，它是放热的，物理吸附的分子与表面的结合能非常弱，吸附后它们可以迅速地从表面进行扩散；当吸附原子或分子与表面原子形成化学键以后，便构成了化学吸附，此过程为强放热过程。
在等离子体和固体材料表面接触的界面上，电子、离子、光子及中性粒子将能量传递给被吸附在固体材料表面的原子或分子，使这些原子或分子克服吸附力(范德瓦尔斯力或化学键力)而解吸离开固体表面,，因此有离子解吸、电子解吸、中性粒子解吸和光解吸，除外还有非等离子体的热解吸、声解吸(超声)。
2、溅射
溅射的物理机理是动量的转移过程，当高能离子或中性粒子（能量大于几个电子伏特eV）和固体材料表面作用时，它们穿过固体材料表面和固体材料内部的晶格原子产生碰撞级联，把能量传递给固体材料中的原子或分子，使固体材料内的原子或分子获得高于结合能的动能，从固体材料表面溅射出来,，使杂质进人到等离子体中，溅射的产额与入射粒子种类、能量及靶材料种类有关。
如果入射粒子是离子，则一般来说溅射产额随离子能量增高而直线上升，后逐渐缓慢达到极大值.。有些溅射出来的粒子在等离子体中经过多次碰撞, 又返回到固体材料表面，导致进一步的溅射,称自溅射过程，这一过程中杂质具有更大的质量，其产额有时比原来的溅射更高。
3、注入
具有一定能量的离子或中性粒子，轰击固体材料表面，打入固体材料内部与固体材料内的原子或分子结合，引起固体结构的变化，增加材料表面的分子量，也可使晶格损伤,，造成缺陷或非晶化等，如利用等离子体使离子注入金属表面，提高材料的硬度、耐磨、耐腐蚀等性能.。离子注入的特点是注人能量和剂量可控, 以期取得表面改性的最佳效果。
4、刻蚀
等离子体中粒子与表面原子或分子结合，生成挥发性的产物，从表面挥发掉，引起等离子体在固体表面的刻蚀，这个过程可以具有化学选择性，即只从表面去除一种材料而不影响其他的材料；也可以是各项异性的，去除沟槽底部的材料而不影响侧壁上同样的材料。
5、复合
在三体碰撞中，正负带电粒子碰撞复合，第三体便是固体壁(或固体表面)，固体壁加速了复合过程。
6、激发和电离
等离子体和固体表面相互作用时同样存在激发和电离过程，尤其是在固体表面，被束缚在原子或分子的量子化的能级上的电子，受到光子或入射电子的轰击后。会发射光电子，发射出的光电子的内能随对应的能级不同而形成光电子谱。
等离子清洗机利用等离子体对材料表面进行改性，主要是利用等离子体与材料表面发生的物理与化学反应来对材料表面进行改性，以加强表面性能。今天，我们主要给大家讲述的是等离子体与材料表面发生的物理性能，下一章节，我们将继续给大家讲述化学反应具有有哪些！
普乐斯电子12年专注研制等离子清洗机，等离子体清洗机，等离子清洗设备，常压大气和低压真空型低温等离子表面处理设备，大气低温等离子体表面处理系统，大气常压收放卷等离子表面设备处理，已通过ISO9001质量体系和欧盟CE认证，为电子、半导体、汽车、yi疗等领域的客户提供清洗、活化、刻蚀、涂覆的等离子表面处理解决方案，是行业内值得信赖的等离子清洗机厂家。如果您想要了解更多关于产品的详细内容或在设备使用中有疑问，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯随时恭候您的来电！
