真空等离子清洗机的真空泵有哪些组合？
文章导读：真空泵组是将2台或2台以上的真空泵组合在一起，形成一个串联的结构，能够大大加快抽真空的速度。在真空等离子清洗机上用到的真空泵组一般有哪些？普乐斯小伙伴今天给大家介绍一下常用的三大类型。
真空泵组是将2台或2台以上的真空泵组合在一起，形成一个串联的结构，能够大大加快抽真空的速度。在真空等离子清洗机上用到的真空泵组一般有哪些？普乐斯小伙伴今天给大家介绍一下常用的三大类型。
油式泵组是指旋片式真空泵+罗茨泵旋片式组成的泵组，这类泵组一般运用于对洁净度要求不是很高且腔体较大的真空等离子清洗机上。其优点有很多：比如能够大幅度加大抽速，减少抽真空的时间；结构较为简单，维护方便；性价比较高，具有价格优势。这种泵组是真空等离子清洗机中最常见的一种泵组，它是由旋片式真空泵作为底泵，外加罗茨泵作为次级泵组合而成的泵组。
2 干式泵组
干式泵组由干式螺杆真空泵+罗茨泵组合成，这种泵组是将干式螺杆真空泵作为底泵，罗茨泵作为次级泵组合成的泵组。一般运用于生物医疗领域、半导体领域以及航天航空领域等洁净度要求较高的行业。因为都是由干式真空泵组合而成的，所以不会出现油污染，洁净度相较于油式泵组更高一些。
3 特殊泵组
机械泵+分子泵就组成了一款特殊的泵组-分子泵组。使用分子泵组能够形成清洁的超高真空环境，所以分子泵组一般是运用在镀膜机、刻蚀机等对真空环境要求高的设备上。分子泵组启动快，抽速非常快；分子泵组是不会使用油的，不会产生油污染；维护起来相对简单。
真空等离子清洗机的真空泵有哪些组合？常见的泵组有三种，一种是旋片式真空泵加上罗茨泵；另一种是干式真空泵+罗茨泵；最后一种是机械泵加上分子泵。
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