等离子表面处理选用的气体为氧氢氮时有哪些注意的？
文章导读：等离子表面处理所用的工艺气体有氧气、氩气、氮气 、压缩空气、二氧化碳 、氢气、四氟化碳等，其中使用较多的就是氧氢氮三种了，那么它们分别有哪些需要注意的呢？
应用等离子表面处理进行处理的材料非常广泛，它们有着不同的处理要求和目的，此时我们所选用的工艺气体也会有所不同，较常见的就是氧气、氢气、氮气三种，当等离子表面处理选用的气体为这三种工艺气体的时候，有哪些需要注意的？该如何选择呢？
一、当选用气体为氧气
氧气主要应用于高分子材料表面活化及有机污染物去除，但不适用于易氧化的金属表面。真空等离子状态下的氧等离子呈现淡蓝色，部分放电条件下类似白色。放电环境光线比较亮，肉眼观察时可能会出现看不到真空腔体内有放电的情况。
二、当选用气体为氢气
氢气气作为工艺气体在微电子、半导体及线路板制造行业使用较广。在使用时需要注意的是：因氢气为危险性气体，未被电离时与氧气汇合会发生自爆，所以在等离子体表面处理设备中通常是禁止两种气体混合使用的。真空等离子状态下氢等离子呈红色，与氩等离子类似，要相同的放电环境下比氩等离子颜色略深。
氧气主要应用于高分子材料表面活化及有机污染物去除，但不适用于易氧化的金属表面。真空等离子状态下的氧等离子呈现淡蓝色，部分放电条件下类似白色。放电环境光线比较亮，肉眼观察时可能会出现看不到真空腔体内有放电的情况。
二、当选用气体为氢气
氢气气作为工艺气体在微电子、半导体及线路板制造行业使用较广。在使用时需要注意的是：因氢气为危险性气体，未被电离时与氧气汇合会发生自爆，所以在等离子体表面处理设备中通常是禁止两种气体混合使用的。真空等离子状态下氢等离子呈红色，与氩等离子类似，要相同的放电环境下比氩等离子颜色略深。
三、当选用气体为氮气
氮气粒子比较重，是介乎在活性气体与惰性气体之间的一种气体，能够达到轰击和刻蚀的效果，同时也可以防止部分的金属表面出现氧化。氮气与其他气体组合形成的等离子体通常会被应用于一些特殊材料的处理。真空等离子状态下氮等离子呈红色，在相同的放电环境下，氮等离子会比氩等离子和氢等离子更亮一些。
氮气粒子比较重，是介乎在活性气体与惰性气体之间的一种气体，能够达到轰击和刻蚀的效果，同时也可以防止部分的金属表面出现氧化。氮气与其他气体组合形成的等离子体通常会被应用于一些特殊材料的处理。真空等离子状态下氮等离子呈红色，在相同的放电环境下，氮等离子会比氩等离子和氢等离子更亮一些。
以上就是当等离子表面处理选用气体为氧气、氢气、氮气时的注意事项和应用的选择区别，如果您想要了解更多关于产品的详细内容或在设备使用中有疑问，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯恭候您的来电！
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