普乐斯等离子清洗设备行业观察，中芯14nm提前一年量产
文章导读：普乐斯等离子清洗设备行业观察，中芯南方集成电路制造有限公司即中芯南方厂，位于上海市浦东张江哈雷路，这里有国内第1条14nm工艺生产线，在去年第3季度就已开始成功量产14nmFinFET，成为中国内地zui先进的集成电路生产基地。
普乐斯等离子清洗设备行业观察，中芯南方集成电路制造有限公司即中芯南方厂，位于上海市浦东张江哈雷路，这里有国内第1条14nm工艺生产线，在去年第3季度就已开始成功量产14nmFinFET，成为中国内地zui先进的集成电路生产基地。
根据2014年发布的《国家集成电路产业发展推进纲要》：到2020年，16/14nm工艺要完成规模量产，封装测试技术做到全球ling先地位，核心装备和材料进到全球采购体系，基本上建成技术先进、安全可靠的集成电路产业体系。
据悉，中芯从2015年开始研发14nm，现阶段良品率现已做到95％。另据披露，中芯的12nm工艺已开始客户导入，官方称比14nm功耗降低20％、性能提升10％、错误率降低20％，而下一代工艺的研发也已稳步开展。
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