关于氮气DBD等离子清洗机均匀放电的实验数据分析
文章导读：普乐斯通过上篇文章讲到DBD大气压氮气等离子清洗机均匀放电的研究装置，经过测试，我们可以得到外加电压与放电总电流波形图、气体间隙的侧面所拍摄的放电图像，从而能够得到气隙电压和运流电流存在的关系的图像呈现。
上篇我们介绍了氮气DBD等离子清洗机均匀放电的实验装置，并且得到充足的实验数据，通过整理这些数据，我们可以得出以下数据图像并对此进行数据分析研究，下图是外加电压幅值为12kV、频率3kHz时得到的典型的外加电压与放电总电流的波形图。从图中可以看出，外加电压为准正弦波形；每半个电压周期中有一次放电，电流脉冲的幅值约为4.5mA，半高宽约为50μs。
以上是从气体间隙的侧面所拍摄的放电图像，从图中可以看出，间隙中靠近瞬时阳极的阻挡介质附近有一个薄薄的发光层，没有明暗相间的放电细丝。结合两图所示的电流波形与放电图像，我们可以判断该条件下获得的放电为一种均匀放电。
通过改变外加电压Va或关闭纯净氮气流的不断吹入等方式，我们又能够比较容易地得到下图所示的大气压氮气DBD等离子清洗机丝状放电的典型波形图和放电图像非均匀放电。可以看到这种放电与均匀放电有明显的差异。当放电剧烈时，大量的放电细丝此起彼伏，会给人的肉眼或长时间曝光的相机造成等离子清洗机均匀放电的假象，其实质则是丝状放电。
上图是按照彭宁电离公式计算后得到的气隙电压和运流电流波形图。由于氮气中DBD均匀放电的强度比较弱，所以不能忽略了位移电流，也就是说不能像氦气中那样把测量到的总电流近似作为运流电流。从下图中可读出运流电流的幅值、半高宽等信息。气隙电压Vg如图中粗实线所示，可以看出它与氦气中的气隙电压Vg有明显的差异：氮气DBD等离子清洗机均匀放电在间隙放电过程中没有下跌反而随着放电过程继续升高；同时随着Vg的持续升高电流反而很快衰减并熄灭了，这些现象称之为“反常熄灭”。
以上就是关于氮气DBD等离子清洗机均匀放电的实验数据分析，希望与大家共同探讨。普乐斯电子9年专注研制DBD等离子设备，等离子表面处理设备，已通过ISO9001质量体系和欧盟CE认证，为电子、半导体、汽车、yi疗等领域的客户提供清洗，活化，刻蚀，涂覆的等离子表面处理解决方案。如果您想要了解更多关于产品的详细内容或在设备使用中有疑问，欢迎点击普乐斯的在线客服进行咨询，或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009，普乐斯恭候您的来电！
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