射频放电微等离子体的结构上有哪些特点？普乐斯等离子清洗机介绍
文章导读：普乐斯等离子清洗机在之前文章已经对射频大气压辉光放电有所介绍，那麼，要是在射频放电中，将放电的间隙进一步缩小到微等离子体尺度内，即为1mm左右，乃至到了几百微米的量级，射频微等离子体又会产生哪些新的特点呢？
如下图所示，是在同样的电流条件下，射频微等离子体鞘层区与等离子体区的分布比例。在给定电流密度0.06A/cm2，当放电间隙慢慢增加，通过实验和计算都表明鞘层开始慢慢增加，而当极板间隙增加多于500μm后，鞘层厚度基本保持在215μm不变。而对于等离子体区的厚度，其从100μm到900μm一直在单一性提升，普乐斯等离子清洗机介绍。
通过上图能够知道的是，当放电间隙小于500μm时，放电等离子体由传统的辉光放电结构转化为一种鞘层主导的结构，即鞘层成为放电空间的主要部分。同时，数值模拟还显示，在鞘层主导的放电结构中，一整个放电空间无法保持电中性，而是呈现为电正性，如下图所示。
要是想在射频微等离子中继续获得正常的辉光结构，保障放电间隙内的电中性，提高放电频率是一种可行的方法。下图给出了在不同频率下两个周期电子密度的时空分布。图中显示，当频率为13.56MHz时，仅仅在电极附近才有大量的电子，其密度近似3.06×1011cm-3。
而当频率增加到27.12MHz时，产生的3.15×1011cm-3的电子密度在极板间由于外加电压的改变来回振荡，从一个极板到另一个极板，基本占据了一整个间隙。由于频率进一步增加到54.24MHz，在放电间隙产生的高密度电子，形成一个稳定的中性等离子体区。这些数据表明，由于频率的提升，放电结构也发生了变化，传统的辉光结构也能够产生。
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