真空等离子清洗机真空泵如何控制？
文章导读：真空等离子清洗机是一种在真空环境中进行等离子表面处理的设备，相对于大气环境下进行处理，一个相对比较稳定的真空状态能够提高等离子处理的效果。
真空等离子清洗机的抽空主要是依靠真空泵来完成的，真空等离子清洗机属在线式的和手拉门式的较为常见，所使用的真空泵有一个泵的也有两个泵的，都是通过触摸屏进行操作控制，控制模式分手动控制和自动控制。
1.手动控制方式
真空等离子设备的手动控制是通过按下触摸屏上相应的虚拟按钮即真空泵开启。硬件按钮驱动的是继电器线圈，而触摸屏按钮驱动的是控制器软元件，控制器通过逻辑计算把结果输出到控制器的输出端，驱动中间继电器动作，中间继电器的触点通断驱动真空泵交流接触器的线圈的触点通断，从而控制真空泵电机三相电的通断。
真空等离子设备的手动控制是通过按下触摸屏上相应的虚拟按钮即真空泵开启。硬件按钮驱动的是继电器线圈，而触摸屏按钮驱动的是控制器软元件，控制器通过逻辑计算把结果输出到控制器的输出端，驱动中间继电器动作，中间继电器的触点通断驱动真空泵交流接触器的线圈的触点通断，从而控制真空泵电机三相电的通断。
2.自动控制方式
自动控制是按下自动按钮即所有动作按序自动执行，真空泵的启停是通过相应的逻辑条件穿插在整个工艺控制流程当中。
不管是手动控制还是自动控制，要想把真空度维持在某一数值，单独靠流量计来调节是无法满足要求的。腔体抽空是靠真空泵来抽取的，如果能够很灵活地控制真空泵电机的转速，腔体的真空度就能够很容易的控制在设定范围之内。当腔体真空度小于或大于设定值的时候，真空泵电机的转速根据计算会自动调节，使电机转速维持在设定真空度转速的范围之内；当腔体真空度受到其他因素的影响，实际真空度和设定真空度之间只要有偏差，程序就会自动计算，使真空泵的转速自动调节到能够维持设定真空值的转速范围之内，这种控制叫做PID控制。
自动控制是按下自动按钮即所有动作按序自动执行，真空泵的启停是通过相应的逻辑条件穿插在整个工艺控制流程当中。
不管是手动控制还是自动控制，要想把真空度维持在某一数值，单独靠流量计来调节是无法满足要求的。腔体抽空是靠真空泵来抽取的，如果能够很灵活地控制真空泵电机的转速，腔体的真空度就能够很容易的控制在设定范围之内。当腔体真空度小于或大于设定值的时候，真空泵电机的转速根据计算会自动调节，使电机转速维持在设定真空度转速的范围之内；当腔体真空度受到其他因素的影响，实际真空度和设定真空度之间只要有偏差，程序就会自动计算，使真空泵的转速自动调节到能够维持设定真空值的转速范围之内，这种控制叫做PID控制。
P是比列作用，I是积分作用，D是微分作用。PID既有比例作用的及时迅速，又有积分作用的偏差消除，还有微分作用的超前微调功能。当偏差阶跃出现时，微分立即大幅度动作，yi制偏差的这种跃变；比例也同时起消除偏差的作用，使偏差幅度减小，由于比例作用是持久和起主要作用的控制规律，因此可使腔体真空度变得比较稳定；而积分作用慢慢把偏差克服掉。只要三个作用的控制参数调试得当，就可以充分发挥三种控制规律的优点，得到一种理想的控制效果。
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