【普乐斯】真空小型等离子清洗机仪器PM/R-T5LN01-A

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【普乐斯】真空小型等离子清洗机仪器PM/R-T5LN01-A

品牌：普乐斯

名称：等离子清洗机

型号：PM/R-T5LN01-A

规格：W460×D494×H734mm

功率：整机峰值功率2KW

用途：用于不同材料的表面处理、适合于研究所、大学院校、研发中心使用

订购热线：400-816-9009

咨询热线：400-816-9009

产品特点

1、触摸屏操作界面
2、数字及图标多重工艺参数实时显示
3、可存储多套工艺配方
4、自动/手动操作模式切换
5、蜂鸣器+红色指示灯报警功能

咨询热线：400-816-9009

产品参数

型号		PM-T5LN01	PR-T5LN01
控制系统	控制方式	全自动控制（自动/手动切换）
		PLC
	操作系统	Windows 10
	触摸屏	7寸
整机规格	尺寸	W460×D494×H734mm
腔体	尺寸	Φ160×D250mm
	材质	316不锈钢（标配）/铝合金（可选）
电极	尺寸	W100×D200mm
	层数	1-2层，可选
托架	材质	需定制
	层数	1层
真空计	皮拉尼式真空计	1个
流量计	MFC+浮子流量计	1路MFC，1路浮子流量计；Ar、N₂、O₂（可选）
真空泵	机械油式旋片泵	1套
发生器	中频/射频	40KHz，0~500W	13.56MHz，0~150W
额定功率	整机峰值功率	2KW
机台供电	单相三线式	AC-220V
选购品	干式泵、气浴电极（打孔）、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H₂安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件

注：以上参数仅供参考，本公司可能对相关产品参数进行调整，如有变动，恕不再另行通知。若有不明处，欢迎来电询问。

咨询热线：400-816-9009

工作原理

在真空状态下，压力越来越小，分子间间距越来越大，分子间力越来越小，利用高频源产生的高压交变电场将氧、氩、氢、四氟化碳等工艺气体震荡成具有高反应活性或高能量的等离子体，然后与有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质，然后由工作气体流及真空泵将这些挥发性物质清除出去，从而达到表面清洁、活化等目的。如图所示：
真空等离子工作原理